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水野 文夫 (著) 株式会社 工業調査会 ★絶版本★ 2008/3/25 初版1刷発行 中古品です。『 電験第2種 回路計算 早わかり 』 電気書院。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。k13-283 増幅回路の考え方 オーム社。1995年R&D 100 Award(USA)、1996年市村賞受賞(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
目次
第1章 計測(計測とは
計測の機能
計測の性能
トレーサビリティ)
第2章 半導体計測(半導体計測の種類
半導体計測の特徴
半導体計測の手法)
第3章 主な半導体計測(パターン寸法・LER(LWR)・形状の観測
微粒子・パターン欠陥の検査
膜厚の測定
ウエーハ表面汚染物質の分析
補足:既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用)
1703
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